テフロンコーティング
1.フッ素樹脂コーティングとは
フッ素樹脂の特性をフッ素樹脂以外の物質(鉄・SUS・アルミ・ガラス・ゴム等)に付与します。テフロ(TEFLON)はデュポン社の登録商標です。
フッ素樹脂の特性
・耐薬品性
・電気絶縁性
・撥油撥水性
・スベリ
2.フッ素樹脂コーティングの効果
・ほとんどの化学薬品・溶剤に不活性。
例外:アルカリ金属、高温でのF2およびF2の誘導化合物、
三フッ化塩素・三フッ化臭素・五フッ化ヨウ素など
・透過は厚さに反比例
・耐蝕性
エッチングシステム、HBr・CI2・BCI3・HFなどの排気配管内
除害装置内部品など
・付着物の低減
エッチングシステム、フッ化アルミ・塩化アルミなどの排気配管内
CVDシステム、SiO2などの排気配管内
3.コーティングの特長
・微粉末製造技術の利用 コーティング膜厚 0.1~3000μm
・コーティング対象 フレキ配管のΩ部へも可能 配管長≦2500mm、配管径≦800mm
・優れたコーティング性能 曲げ・圧縮・引張りによる剥離なし
・反応生成物と腐食の低減
4.テフロンコーティング付フレキチューブの標準製品
・標準直径 25,40,50mm
・標準長さ 250,500,750,1000,1250,1500,1750,2000mm
・その他 標準外の特注フレキチューブ、フィティングなどへのコーティングも製造可能
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