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AP250　/　AP500

　AP250とAP500は半導体製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から構成されています。

　さらに外部には圧力センサを取り付け、そのセンサからの信号を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの内部圧力を調整し、外郭圧力が任意の設定圧力値と一致するように自動制御します。また、流量センサを外部に取付けることにより、流量コントローラとして使用することも可能です。

　最大制御流量はAP250が5001/分、AP500が2000L/分で、最大制御圧力は両タイプとも600kPa程度です。

　圧力継手はAP250が1/2"VCR、AP500は3/4"SWAG相当品または3／4"VCR相当品に対応しています。真空中での使用なら相当品導体用クリーンガス、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。

型式	AP250	AP500
主な用途	FPD、燃料電池用	FPD、燃料電池用
対象ガス	N2、空気、H2等	N2、空気、H2等
入口圧力	999kPa以下	999kPa以下
耐圧	1500kPa未満	1500kPa未満
圧力設定	表示設定器で設定	表示設定器で設定
制御方式	ドーム内空圧制御	ドーム内空圧制御
制御圧力	0～500kPa	0～500kPa
最大流量	500L/分	2000L/分
応答時間	設定値到達まで1秒	設定値到達まで1秒
入力信号	0～5VDC　Cont/Close	0～5VDC　Cont/Close
入力信号	RS485	RS485
外部センサ入力	（4～20mA　標準）	（4～20mA　標準）
出力信号	アラーム出力、RS485	アラーム出力、RS485
継手	1/2インチVCR相当品または1/2インチスウェジロック相当品	3/4インチVCR相当品または3/4インチスウェジロック相当品
シートリーク	10-5Pa・m3/秒以下	10-5Pa・m3/秒以下
精度	圧力センサ仕様による	圧力センサ仕様による
電源電圧	24VDC±10％	24VDC±10％
消費電流	200mA　Max．	200mA　Max．
使用温度	0～50℃結露なきこと	0～50℃結露なきこと
面間外形寸法	W70×D145×H124mm	W80×D178×H170mm
圧力センサ	無し（外部）	無し（外部）
表示設定器	有り（分離設置可）	有り（分離設置可）

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