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流体制御機器
ap200n_01

自動圧力コントローラ AP200シリーズ

圧力変動を極小にした、ダイヤフラム・ドーム構造
独自の空圧制御システムの採用により高精度で大流量の流体圧力を自動調整

 本圧力コントローラは、2次側に設置される圧力センサーの信号を受け、任意の設定圧力に自動で調圧する機器です。本機器ではUHPガス、腐食性ガスに対応出来るようバルブはスプリングレスの構造になってます。手動の圧力調整器のように流量が変化することによる圧力変動が生じませんので、安定した圧力制御が可能になります。

特徴

1.小型で大流量の圧力制御が可能  AP-200 150SLM
2.ガス流量変動により圧力変化無
3.応答速度1秒以内の高速制御可能
4.圧力の設定値を外部制御 可能(RS485,アナログ)
5.NCタイプの安全設計
6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能

仕様
型式 AP‐200N‐01 AP‐200N‐02 AP‐200N‐03
最大流量 10L/分 50L/分 150L/分
対象ガス 全てのガス(半導体プロセスガス・腐食性ガス含む)
制御圧力 0-600kPaG
制御圧力精度 圧力センサー精度による
供給圧力 999kPaG
耐圧 1.5MPa G
材質 SUS316L HC22 テフロン
表面処理 電解研磨
応答時間 1秒(Typical)
継手 1/4”VCR相当品
シートリーク 1×10-8Pa・m3/sec以下
リークレイト 1×10-11Pa・m3/sec以
外形寸法(D面間) W36XD32XH130㎜
外部圧力センサー信号 4-20mA(標準)
圧力設定 CD-100による手動設定又は外部信号による設定
外部圧力設定信号 0-5V DC又はRS-485
出力信号 アラーム出力 制御圧力信号(RS-485,0-5V出力はオプション)
電源 DC24V±10%
消費電流 200mA Max
使用温度 0-50℃ 結露無きこと
構成図及び制御原理図
構成図及び制御原理図
流量と制御圧力の関係
流量と制御圧力の関係