自動圧力コントローラ AP200シリーズ
圧力変動を極小にした、ダイヤフラム・ドーム構造
独自の空圧制御システムの採用により高精度で大流量の流体圧力を自動調整
本圧力コントローラは、2次側に設置される圧力センサーの信号を受け、任意の設定圧力に自動で調圧する機器です。本機器ではUHPガス、腐食性ガスに対応出来るようバルブはスプリングレスの構造になってます。手動の圧力調整器のように流量が変化することによる圧力変動が生じませんので、安定した圧力制御が可能になります。
1.小型で大流量の圧力制御が可能 AP-200 150SLM
2.ガス流量変動により圧力変化無
3.応答速度1秒以内の高速制御可能
4.圧力の設定値を外部制御 可能(RS485,アナログ)
5.NCタイプの安全設計
6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
型式 | AP‐200N‐01 | AP‐200N‐02 | AP‐200N‐03 |
最大流量 | 10L/分 | 50L/分 | 150L/分 |
対象ガス | 全てのガス(半導体プロセスガス・腐食性ガス含む) | ||
制御圧力 | 0-600kPaG | ||
制御圧力精度 | 圧力センサー精度による | ||
供給圧力 | 999kPaG | ||
耐圧 | 1.5MPa G | ||
材質 | SUS316L HC22 テフロン | ||
表面処理 | 電解研磨 | ||
応答時間 | 1秒(Typical) | ||
継手 | 1/4”VCR相当品 | ||
シートリーク | 1×10-8Pa・m3/sec以下 | ||
リークレイト | 1×10-11Pa・m3/sec以 | ||
外形寸法(D面間) | W36XD32XH130㎜ | ||
外部圧力センサー信号 | 4-20mA(標準) | ||
圧力設定 | CD-100による手動設定又は外部信号による設定 | ||
外部圧力設定信号 | 0-5V DC又はRS-485 | ||
出力信号 | アラーム出力 制御圧力信号(RS-485,0-5V出力はオプション) | ||
電源 | DC24V±10% | ||
消費電流 | 200mA Max | ||
使用温度 | 0-50℃ 結露無きこと |
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