還元ガス分析計 TRA1000
CO、H2、サブppb分析可能
高純度ガス(N2、Ar、O2等)中のCO、H2等還元性ガスをサブppbレベルまで測定する還元性ガス分析計です。測定ガスは分離カラムで測定成分のH2、COに分離され検出器に入り、酸化水銀と反応します。
この方式は、極めて選択性と高感度を有しております。
配管は1/16インチステンレス研磨管を使用するとともにキャリアガス、サンプルガス圧力は自動圧力調整器を使用しています。
1.検出限界はサブppb:CO 0.2ppb、H2 0.5ppb
2.多種の測定ガスに対応:N2、O2、Ar、He、Air、H2(一部仕様が異なります)
3.自動圧力調整器内蔵により、ベースラインの安定性が高い
4.1/16インチステンレス研磨管の採用によりベースノイズ極小
5.専用データ処理ソフト(オプション)
測定方式 | ガスクロマトグラフ法 |
検出器 | 微量還元性ガス検出器(TRD) |
測定対象 | 高純度N2、Ar、O2、He、H2、Air中のH2、CO |
測定範囲 | H2、CO共 0~100ppb程度 |
最小検出量 | H2 0.5ppb、CO 0.2ppb程度 |
キャリアガス | 高純度N2、Ar、Airから不純物のH2、COを除去したガス |
サンプル流量・圧力 | 約500ml/min、圧力 0.3MPaG |
分析周期 | 約10分周期以内/1試料 |
自動制御 | CPUによる自動運転、バルブ駆動用ガス圧力:0.4~0.5MPaG |
校正方法 | 標準ガスによる |
定量方式 | ピーク面積またはピーク高さによる絶対検量線法 |
使用温度 | 約430(W)×550(D)×220(H)mm卓上型 |
寸法 | AC100V±10%、約500VA(容量により異なります) 約480(W)×550(D)×220(H)mmパネルマウント型 |
接続配管 | キャリアガス、測定ガス:1/16インチ専用継手 バルブ駆動エア:1/8インチスゥエジロック相当継手 排気ライン:1/4インチスゥエジロック相当継手 |
電源 | AC100V 50/60Hz 500VA |
重量 | 約30kg |
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