• 製品一覧
  • 会社情報
  • お問い合わせ
流体制御機器
afc150

層流差圧式質量流量コントローラ　AFC/AFMシリーズ
超小型化を実現

　本流量ｺﾝﾄﾛｰﾗは、ガスが小型層流素子を流れるときに発生するガスの圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い、質量流量を計測制御します。
小型層流素子の採用により、小型化が実現しました。
流量素子の適切な選定により、微少流量から大流量まで対応可能です。　

特徴

１．微少流量から大容量まで計測可能　　素子の選定により10nccmから50NLMまで対応可能

２．全流方式での流量計測・制御　　流入するｶﾞｽの一時的な水分混入や凝縮に強い

３．高速実流量応答制御実現

４．ｶﾞｽ系の温度・圧力情報も出力　　ｶﾞｽ供給系の診断に最適

仕様
対象ガス N2,　Air,　H2,　CH4,　Ar,　CO2,　CO,　C3H8他
流量範囲 １０NCCM～５０NLM　(0℃,一気圧換算)
制御範囲 2-100%　FS
精度 1 % FS
繰返し性 ±0.2 % FS
応答速度 2秒以内 （フルスケール設定値の±2 %到達 までの時間）
制御範囲 2-100%
使用温度範囲 0～50℃ （10～40℃：精度保証）、結露なきこと
耐圧 0.99MPa
外部シール 1x10-7Pam3/sec（He）以下
入力信号 0-5VDC、RS485 (4-20mA 工場オプション）
出力信号 0-5VDC、RS485 (4-20mA 工場オプション）
電源電圧 DC24V ±10% 200mA以下
接ガス材質 SUS316、バイトン　他 （SUS316L対応可）
電源コネクター D-Sub 15ピン　（専用制御ＢＯＸが必要になります）
寸法 面間寸法　108mm 　高さ　62mm（コネクター除く）
継手 1/4スウェジロック相当継手　（VCR相当継手対応可能）
※メタルシールの場合はＡＦＣ－１５０Ｍとご指定願います。
※100～500NLMの場合はDPFC-250、1000NLM以上の場合はDFPC-500で対応します。
層流式差圧流量計原理図
層流式差圧流量計原理図

■リニア回路により高速応答追従性

■ダイレクト全流量測定

■ガス水分混入による動作不良が無い

■ガス水分混入による動作不良が無い

層流式差圧流量計原理図
応答速度例 応答速度例

Copyright© 2011 ACE inc. All Rights Reserved.