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流体制御機器
quartz

石英コーティング

Quartz Surface  表面だけを石英ガラスに
膜質の異なるSiO2膜を複数層重ねることにより、金属表面に石英ガラス(SiO2)をコーティングすることが可能となりました。(US特許6,627,559B2) 基材の特性を活かしたまま、表面のみ石英ガラスの特性が得られます。チャンバー内面、配管内部など複雑形状にもコーティング可能です。 コーティングはクラス10(0.1μm)の環境で行っております。

コーティング膜厚 0.2~4μm
基材の剛性、熱膨張率差、使用温度により膜厚限界は異なります。
使用条件・用途により最適膜質・最適膜構造・最適膜厚を決定します。

コーティング例 - 現状最大580×490×910までコーティング可能 -

チャンバー内面、チャンバー直近フランジ、マニホールドなど
配管内面(供給系、排気系)
各パーツ内面(レギュレータ、バルブ、フィルター、MFCなど)

Quartzaceコーティングの効果例(メタルコンタミの低減)

金属コンタミはプロセスチャンバー回りの金属製部材の腐食が原因となっていることがあります。
ACEではQuartzace処理により、腐食を防ぎ、金属コンタミの低減に寄与したいと考えています。

HClガス供給配管内面、チャンバー直近ステンレス製フランジ内面へコーティング
ウェハ上ICP-MSにて測定 単位:atoms/cm2
Before :コーティング前 1ヶ月の平均値
After  :コーティング後 スポット値

Fe Cr Ni Al Cu
Before 3.7E12 8.4E11 6.3E11 1.1E13 1.1E10
After 1st 1.9E09 <6E08 <6E08 3.1E09 5.6E09
After 2nd <6E08 <6E08 <6E08 <6E08 2.5E09

HCl使用フランジコーティングあり

  HCl使用フランジコーティングあり
  大気解放後1ヶ月後の外観写真


HCl使用フランジコーティングなし

HCl使用フランジコーティングなし
大気解放後1ヶ月後の外観写真


塩酸溶液10% 24時間浸漬後のXPS分析例

塩酸溶液10%に24時間浸漬後のコーティング膜をXPSにて分析しました。 コーティング膜表面、および膜中から Cl(塩素)のピークは観察されませんでした。

表面プロファイル デプスプロファイル