石英コーティング
Quartz Surface 表面だけを石英ガラスに
膜質の異なるSiO2膜を複数層重ねることにより、金属表面に石英ガラス(SiO2)をコーティングすることが可能となりました。(US特許6,627,559B2)
基材の特性を活かしたまま、表面のみ石英ガラスの特性が得られます。チャンバー内面、配管内部など複雑形状にもコーティング可能です。
コーティングはクラス10(0.1μm)の環境で行っております。
コーティング膜厚 0.2~4μm
基材の剛性、熱膨張率差、使用温度により膜厚限界は異なります。
使用条件・用途により最適膜質・最適膜構造・最適膜厚を決定します。
コーティング例 - 現状最大580×490×910までコーティング可能 -
チャンバー内面、チャンバー直近フランジ、マニホールドなど
配管内面(供給系、排気系)
各パーツ内面(レギュレータ、バルブ、フィルター、MFCなど)
Quartzaceコーティングの効果例(メタルコンタミの低減)
金属コンタミはプロセスチャンバー回りの金属製部材の腐食が原因となっていることがあります。
ACEではQuartzace処理により、腐食を防ぎ、金属コンタミの低減に寄与したいと考えています。
HClガス供給配管内面、チャンバー直近ステンレス製フランジ内面へコーティング
ウェハ上ICP-MSにて測定 単位:atoms/cm2
Before :コーティング前 1ヶ月の平均値
After :コーティング後 スポット値
Fe | Cr | Ni | Al | Cu | |
Before | 3.7E12 | 8.4E11 | 6.3E11 | 1.1E13 | 1.1E10 |
After 1st | 1.9E09 | <6E08 | <6E08 | 3.1E09 | 5.6E09 |
After 2nd | <6E08 | <6E08 | <6E08 | <6E08 | 2.5E09 |
HCl使用フランジコーティングあり
大気解放後1ヶ月後の外観写真
HCl使用フランジコーティングなし
大気解放後1ヶ月後の外観写真
塩酸溶液10% 24時間浸漬後のXPS分析例
塩酸溶液10%に24時間浸漬後のコーティング膜をXPSにて分析しました。 コーティング膜表面、および膜中から Cl(塩素)のピークは観察されませんでした。
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