CV150
外部センサ型 比例回路内臓 フィードバック制御
表示器接続可
CV150は比較制御回路を内蔵したコントロールバルブで、半導体製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度 を自動制御することによって、配管内の圧力もしくは流量を自動調整するコントローラです。
圧力センサは実装していないので、必ず外部に圧力センサまたは流量センサが必要となります。
最大制御流量は100kPa差圧で500cc/分と3000cc/分の2種類があります。CV150モデルは比例ソレノイドバルブをパルス幅変調により 制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設定圧力に達します。
圧力□継手は1/4インチVCR相当品で、接ガス部は全てメタル製になっており、半導体用クリーンガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険 ガス等全てのガスに対応可能です。
型式 | CV150 |
主な用途 | 半導体用燃料電池用 |
対象ガス | 半導体プロセスガス |
入口圧力 | 500kPa以下 |
耐圧 | 1000kPa未満 |
圧力設定 | コンピューター等から圧力設定入力必要 |
制御方式 | 比例ソレノイドパルプ制卸 |
制御圧力 | --- |
最大流量 | 差圧100kPaのとき500cc/分およぴ3000cc/分の2種 |
応答時間 | 設定値到達まで1秒 |
入力信号 | 05VDC Cont/Close |
RS485 | |
外部センサ入力 | (4~20mA 標準) |
出力信号 | アラーム出力RS485.0~5VDC |
継手 | 1/4〃VCR相当品 |
シートリーク | 10-6Pa・m3/秒以下 |
精度 | 圧力センサ仕様による |
電源電圧 | 24VDC±10% |
消費電流 | 200mA Max. |
使用温度 | 0~50℃結露なきこと |
面間外形寸法 | W35×D36×H68mm |
圧力センサ | 無し(外部) |
表示設定器 | 装備せず |
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